重新定义
cmp研磨垫

3m™ trizact™ 研磨垫在半导体制造过程中呈现高度一致的性能和研磨效率。

关闭  

与我们联系

  • *为必填项

  • 个人信息处理
    知情并同意书

    3m中国有限公司(3m)(作为本知情并同意书项下的个人信息处理者)尊重并保护用户个人信息。在您使用3m提供的3m电子材料产品,如胶带、胶水、导热/磁屏蔽材料、精密电子研磨产品、网络互连连接产品、半导体研磨产品、封装、氟化液等产品,及产品选型、tds及sgs等报告文件下载服务或参加相关活动之前,3m请您完整地阅读3m隐私政策(包括中国子公司附录)并确认如下知情并同意书。

    个人信息的收集和使用:

    鉴于本产品(或服务)的核心业务功能/本次活动的主要目的为:产品的推广介绍,提供产品参数报告,产品介绍视频等资料及产品介绍手册的下载服务(“主要处理目的”),3m需要在您注册、登录和/或使用产品/服务和/或参与本次活动时收集您以下个人信息:☑姓名 ☑所在地区 ☑个人电话号码 ☑电子邮箱地址 ☑职业/职位 ☑工作单位、办公地址

    您同意我们为实现主要处理目的收集、使用以上个人信息(包括敏感个人信息)。如果您选择不提供或不同意我们收集、使用以上部分或全部信息,将导致本产品(或服务)无法完全正常运行,我们将无法为您服务,或您将无法继续参与本次活动。

    鉴于本产品(或服务)的附加业务功能/本次活动的次要目的为:☑开展市场营销(包括向您发送市场信息) ☑数据分析 ☑研发新产品 ☑回应您的请求或查询。(“次要处理目的”,与主要处理目的合称为“处理目的”),3m还需要在您注册、登录和/或使用产品/服务和/或参与本次活动时收集您以下个人信息:
    ☑姓名 ☑个人电话号码 ☑电子邮箱地址 ☑所在地区 ☑职业/职位 ☑工作单位、办公地址

    您同意我们为实现次要处理目的收集、使用以上个人信息(包括敏感个人信息)。如果您选择不提供或不同意我们收集、使用以上部分或全部信息,您将无法正常使用相关附加业务功能或无法达到我们拟达到的功能效果/活动次要目的,但这不会影响您使用核心业务功能或实现活动主要目的。

    在任何情况下,我们将以对个人权益影响最小的方式处理您的上述个人信息(包括敏感个人信息)。

    3m将直接收集或是从3m的合作方(包括但不限于3m的经销商、服务方、京东、天猫、淘宝、微信或其它网络平台)处依法收集您的个人信息。3m和3m的合作方将在必要和合理的范围内向您收集个人信息。请您真实、准确地提供个人信息。

    在遵守国家法律法规和3m隐私政策的前提下,3m将在提供3m电子材料产品,如胶带、胶水、导热/磁屏蔽材料、精密电子研磨产品、网络互连连接产品、半导体研磨产品、封装、氟化液等产品,或产品选型、tds及sgs等报告文件下载服务中接入具备收集个人信息功能的第三方插件。3m将通过合同形式与该第三方共同确定应满足的个人信息安全要求,以及在个人信息安全方面各自应承担的责任和义务。

    3m可能将自行或者聘请可信赖的第三方向您推送您可能感兴趣的咨讯,例如对3m相关产品的介绍或促销等信息;或者进行个人信息的统计处理和分析。在聘请第三方的情况下,这些工作将在3m的监督下进行并遵循3m隐私政策。在事先征得您同意的前提下,您的个人信息还可能用于其它被您同意的用途。若您不希望接收咨讯推送,可随时通知3m公司退订。

    个人信息的保密和披露:

    3m遵照法律法规对个人信息承担保密的义务,惟当法律法规确有要求或者政府机关提出明确指令的情况下,3m将适当披露个人信息。

    个人信息的存储:

    收集的个人信息将保存在3m在中国境内和/或境外的关联公司以及服务提供商(在有限且必要的情况下)的服务器上。3m将根据国家法律法规和3m隐私政策的规定在为实现处理目的所必需的最短期限内保存个人信息,并在超出保存期限后对个人信息进行删除或匿名化处理,以保护您的个人信息安全;法律法规另行规定或允许延长其保留期限或您另行同意延长其保留期限的除外。

    个人信息的委托处理、共享、跨境传输:

    在遵守国家法律法规和3m隐私政策的前提下,3m将委托具备足够的数据安全能力的第三方处理个人信息,并且,3m将通过合同形式约定该第三方应满足的个人信息安全要求,以及在个人信息安全方面应承担的责任和义务;并且,3m可能会与其雇用提供支持服务或与其合作向客户提供产品和服务的第三方,或与其合作的客户等第三方,共享个人信息。

    由于某些第三方位于中国境外,我们必须通过跨境传输的方式将您的个人信息传送至该等第三方。您同意我们向3m隐私政策中国子公司附录部分附件iii所列的中国境外第三方为处理目的以及该附件所列的目的提供该附件所列的个人信息。您可以按照该附件中所列的九游会国际的联系方式向中国境外第三方行使您的权利。

    在为实现3m隐私政策及本知情并同意书所述的处理目的而必要的情况下,我们可能会将个人信息(包括敏感个人信息)传送至3m在中国境内和/或境外的关联公司的所在地,并在当地令3m的相关关联公司依法访问、使用和存储。您提供的个人信息可能会经由3m美国网站的服务器系统(部署于美国)传输与存储。

    您同意我们向3m隐私政策中国子公司附录部分附件ii所列的3m在中国境内或境外的关联公司为处理目的以及该附件所列的目的提供该附件所列的个人信息。您可以按照该附件中所列的九游会国际的联系方式向3m的关联公司行使您的权利。

    3m在传输和存储敏感个人信息时,将采用加密等安全措施。

    个人信息的管理和保护:

    根据适用的中国法律法规,视情形而定,您对您的个人信息拥有以下权利:反对权、查阅和知情权、更正权、删除权、撤回同意权、注销账户权、复制权、数据可移植性权利、要求解释说明权,以及适用法律法规要求的其他个人权利,这些权利的适用情形不同。您可以通过联系来行使您的权利。

    反对权:您可以限制或者拒绝3m对您的个人信息的处理。您的限制或者拒绝可能导致本产品(或服务)无法完全正常运行,我们可能无法为您提供与您限制或拒绝处理的个人相关的服务,或您可能无法参与或继续参与本次活动的全部或相关环节。

    查阅和知情权:您可以要求3m确认您的个人信息是否得到处理。您还有权要求查阅您的个人信息和了解以下信息:处理的目的;处理的个人信息类别;已经获得个人信息的第三方身份或类型等。

    更正权:如果您的个人信息不正确,您有权让3m更正您的个人信息。考虑到处理的目的,您还有权将有关您的不完整个人信息予以完整,包括提供补充信息。

    删除权:在下列情况下,3m会主动删除您的个人信息,您也可以要求3m删除您的个人信息:(i)处理目的已实现、无法实现或为实现处理目的不再必要;(ii)3m停止提供产品或者服务,3m取消本次活动或者本次活动已全部完成,或者保存期限已届满;(iii)您撤回同意;(iv)3m违反法律法规规定,收集、使用、共享、转让、披露个人信息的;(v)3m违反3m隐私政策及本知情并同意书的内容,收集、使用、共享、转让、披露个人信息的;以及(vi)法律法规规定的其他情形。但是,法律法规规定的保存期限未届满,或者删除您的个人信息从技术上难以实现的除外,对该等个人信息,3m会停止除存储和采取必要的安全保护措施之外的处理。

    撤回同意权:您可以在使用产品(或服务)或参与活动的过程中撤回对收集上述个人信息的同意授权。但撤回同意不影响撤回前基于同意的个人信息处理。

    注销账户权:如您通过注册账户接受3m提供的产品或服务或参与3m组织的活动,您可以注销您的账户。您的账户注销后,3m将及时删除您的个人信息或匿名化处理。因法律法规规定需要留存个人信息的,不能再次将其用于日常业务活动中。

    复制权:您可以请求获取您提供的个人信息的副本。

    数据可移植性权利:您可以请求将您的个人信息转移至您指定的个人信息处理者,符合国家网信部门规定条件的,3m会提供转移的途径。

    要求解释说明权:您可以请求3m对个人信息处理的规则进行解释说明。

    3m重视个人信息安全,将采取适当措施来保护个人信息安全,尽合理努力使个人信息不会被泄漏、毁损或者丢失。与此同时,3m请您理解在信息网络领域目前不存在“完美”的安全措施。万一发生安全事件导致您的个人信息遭泄露、损毁、篡改、丢失等,我们将立即启动应急预案,及时通知您,采取补救措施,并按照法律规定向政府主管部门报告。

    关于个人信息的更多处理规则,请完整阅读3m隐私政策以了解更详细的情况。您知晓并同意,3m将不时地修改更新3m隐私政策。您可以在3m九游会国际官网查阅最新的3m隐私政策。您持续使用3m的产品(或服务)或参与活动即表示您同意经修订更新的3m隐私政策

    个人信息处理者:

    公司名称:[3m中国有限公司]

    九游会国际的联系方式:[中国上海兴义路8号38楼3m万都中心办公室,数据隐私官,电子邮件:]

非常感谢!

您的信息已提交成功! 如果您还想了解更多3m各个领域的九游会国际的解决方案,可以访问:www.3m.com/cn

非常抱歉!

您的信息提交失败!稍后请重新提交,谢谢!

3m™ trizact™ 研磨垫有创新的表面沟槽及不互相干扰的研磨图案设计,此图为光学显微镜下的影像。

3m™ trizact™ cmp 研磨垫 | 半导体产业九游会国际的解决方案 | 3m中国-九游会国际

随着像是物联网、智慧城市、行动通讯、边缘运算等驱使世界的趋势,半导体日渐增长的记忆体和速度的需求。瓶颈来自于半导体制造过程中的化学机械平坦化(cmp)从需求到良率的持续提升,使得半导体厂无法容忍元件可靠度变异。

3m利用3m™ trizact™ 研磨垫重新定义研磨垫产品,确保半导体化学机械平坦化制程的稳定性和一致性。

  • 先进节点的高级效能

    3m™ trizact™ 研磨垫结合了3m在造模、表面改质和微复制方面的科学技术,为先进节点的半导体制造提供了化学机械拋光的创新研磨垫。

    • 利用设计精准的三维微复制粗糙突起和孔隙,来界定研磨垫的纹理,并帮助确保研磨垫对研磨垫效能的一致性 — 达到先进节点cmp制程的要求。
    • 粗糙突起和孔隙被安排于独立的隔间,来确保晶片上的压力一致。
    • 我们高度可控的微复制制程可完成可复制且可调谐的cmp研磨垫。

    查看产品


降低变异性,提高重复性 — 改善晶圆良率

view video
  • 一致性

    3m™ trizact™ 研磨垫采用我们专有的微复制制程,为了您所需要的化学机械平坦化效能所设计,最后呈现良好一致性的研磨垫。

    • 机械平坦化中的一致性
    • 每片一致的表面图案
    • 研磨垫使用期间达到研磨使用过程中的稳定性
  • 提升良率

    一致与可重复的化学机械平坦化效能可提升晶圆良率。3m™ trizact™ 研磨垫有助于提升平坦化效率、降低晶圆缺陷并提升生产力与产量。

    • 提升平坦化效率来以符合cmp先进制程节点的需求
    • 降低晶圆浅碟型与腐蚀型凹陷现象
    • 减少研磨垫产生的碎屑,可降低晶圆缺陷
  • 减少cmp耗材

    我们专有的显微复制技术提供了较长研磨垫寿命,无须使用钻石研磨垫修整器。

    • 降低金属污染的风险
    • 降低晶圆生产成本
    • 延长研磨垫寿命,增加机台使用时间

  • 3m™ trizact™ 研磨垫的精准设计三维显微复制表面粗糙特征

    显微复制技术 — 微观世界的一致性

    3m™ trizact™ 研磨垫使用3m核心平台中的「显微复制技术」。此技术让我们能精准地雕刻微小特征,达成极高的表面一致性。此技术最初是因投影机的光线调控特性所诞生,现已延伸至3m成千上万的产品。


电化学学会(ecs)发布的技术论文,2016年8月

用于w-cmp的微复制垫

  • 芯片颗粒内部不均匀性(widnu),由3个不同器件之间的栅极高度范围,以及3个不同器件之间栅极顶部的电介质厚度范围(即ts电介质)决定。本文选取了晶圆的一颗中心颗粒,一个中部颗粒和一个边缘颗粒,分别用por研磨垫和mr pad进行抛光,并之后进行tem横截面分析,从中进行栅极高度和电介质厚度的测量。

  • 作者:wei,kaushik mohan,ricky hull,james hagan,connie truong,duy k.lehuu 和 david muradian

    一种微复制抛光垫(mr pad),表面具有大范围可调节的、经过有序加工的空隙和突起构成的规则图案,可用于3盘(platen)的w-cmp抛光工艺,用于14 nm替换金属栅极(rmg)和沟槽自对准硅化物(ts)的平坦化。这种新的研磨垫不需要传统钻石研磨盘来修整,并且能够以维持高可重复性的去除率,持续研磨多达2000次晶圆,同时保持较低且一致的缺陷和晶圆内均匀性(wiwnu)。 mr pad还具有减小芯片颗粒内部不均匀性(widnu)的独特优势,如栅极电导率测试所示,并通过横截面tem的物理厚度测量得到证实。

    此外,可以极大地减少由图形引起的缺陷。 本文将阐明mr pad独特性能的机理,并将讨论这种新的cmp研磨垫技术的重要性。


准备好重新定义您的cmp工艺了吗?

了解有关如何使用3m创新的cmp产品推进cmp工艺的更多信息。


获取更多资讯

联系9游会真人第一品牌
  • 电话咨询销售代表
    半导体材料

    james fang(方先生)|中国大陆

    手机:

    或发送邮件至

    邮箱:

  • 3m提供半导体制造工艺的一系列材料和
    设备支持的九游会国际的解决方案

    如果您需要为您的项目寻找合适的产品, 点击下方按钮即可快速申请样品或获取3m技术专家一对一服务:

  • 扫码关注
    “3m半导体材料”公众号
  • 电话咨询销售代表
    半导体材料

    james fang(方先生)|中国大陆

    手机:

    或发送邮件至

    邮箱:

  • 3m提供半导体制造工艺的一系列材料和设备支持的九游会国际的解决方案

    如果您需要为您的项目寻找合适的产品, 点击下方按钮即可快速申请样品或获取3m技术专家一对一服务:

  • 扫码关注
    “3m半导体材料”公众号

相关资源

  • 技术资料表
  • 产品选择指引

了解更多3m半导体产业九游会国际的解决方案

查看更多用于cmp和表面处理材料的3m九游会国际的解决方案,这些九游会国际的解决方案可帮助提高生产率,提高产量并提供高质量的工艺性能。

网站地图