高度工程化定制化的钻石研磨盘,利用烧结工艺,提供极其稳定均匀的钻石排布、锐利度及高度,专为半导体高阶cmp应用提供九游会国际的解决方案
3m™ 钻石研磨盘,使cmp研磨垫的表面焕然一新,用于一个又一个晶圆,能最大限度减少磨损,并保持一致的粗糙度以及研磨垫性能。3m™ 钻石研磨盘采用专有的烧结研磨技术,可以使钻石的寿命更长,牢牢固定住钻石。其单层钻石网格的间距高度可控,有助于更好预测并优化cmp研磨垫的使用,提高平坦化效率。
|
|
---|---|
产品类型
|
金刚石研磨盘
|
品牌
|
3m™
|
基底材质
|
410 不锈钢
|
基底样式
|
砂碟
|
应用
|
cmp
|
底座直径 (公制)
|
101.6 mm
|
生产地点
|
美国
|
研磨矿砂类型
|
镍基合金上烧结图形化金刚石
|
磨料工作面
|
整面型
|
钻石直径
|
151 micron
|