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3m™ trizact™ pad conditioner tpc 研磨盘 b6-九游会国际

3m id 60020021667
  • 利用3d技术做成精确的陶瓷衬底,其中用cvd技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择
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详细信息
  • 利用3d技术做成精确的陶瓷衬底,其中用cvd技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择

利用3m在研磨、陶瓷、微复制等专业技术,3m™ trizact™ (研磨垫)修整器是专为高阶cmp工艺开发的一种创新研磨垫修整器

  • 微复制——一致性和精确性十分重要

    3m™trizact™cmp研磨盘具有精密的3d研磨结构,对于看重一致性的工艺来说是理想的选择。陶瓷结构采用微米级钻石涂层。通过微复制——3m应用于半导体制造中先进制程的核心技术——这些结构在3m trizact™cmp研磨垫表面均匀重现。此外,您可以选择各类形状如尖端型,高度分散型,以便适配您的应用。效果持久,性能一致, cmp研磨盘寿命更长,可持续预测的盘面完成度和盘面磨损。

相关资源
产品技术文件
规格
产品类型
金刚石研磨盘
品牌
trizact™
基底材质
不锈钢
基底样式
砂碟
应用
cmp
底座直径 (公制)
107.95 mm
研磨矿砂类型
cvd 涂层陶瓷
磨料工作面
b6 - 1900样式
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