利用3m在研磨、陶瓷、微复制等专业技术,3m™ trizact™ (研磨垫)修整器是专为高阶cmp工艺开发的一种创新研磨垫修整器
3m™trizact™cmp研磨盘具有精密的3d研磨结构,对于看重一致性的工艺来说是理想的选择。陶瓷结构采用微米级钻石涂层。通过微复制——3m应用于半导体制造中先进制程的核心技术——这些结构在3m trizact™cmp研磨垫表面均匀重现。此外,您可以选择各类形状如尖端型,高度分散型,以便适配您的应用。效果持久,性能一致, cmp研磨盘寿命更长,可持续预测的盘面完成度和盘面磨损。
|
|
---|---|
产品类型
|
金刚石研磨盘
|
品牌
|
trizact™
|
基底材质
|
不锈钢
|
基底样式
|
砂碟
|
应用
|
cmp
|
底座直径 (公制)
|
107.95 mm
|
研磨矿砂类型
|
cvd 涂层陶瓷
|
磨料工作面
|
b75 - 2990样式
|