3m™ trizact™ 研磨盘 b6-1900
3m™ trizact™ 研磨盘 h75-2310
trizact 研磨盘_270x270
3m™ trizact™ 研磨盘 b5-1900微缩图
3m™ trizact™ 研磨盘 b6-1900微缩图2
3m™ trizact™ 研磨盘 b75-2990微缩图
利用3m在研磨、陶瓷、微复制等专业技术，3m™ trizact™ （研磨垫）修整器是专为高阶cmp工艺开发的一种创新研磨垫修整器
3m™trizact™cmp研磨盘具有精密的3d研磨结构，对于看重一致性的工艺来说是理想的选择。陶瓷结构采用微米级钻石涂层。通过微复制——3m应用于半导体制造中先进制程的核心技术——这些结构在3m trizact™cmp研磨垫表面均匀重现。此外,您可以选择各类形状如尖端型，高度分散型，以便适配您的应用。效果持久，性能一致， cmp研磨盘寿命更长，可持续预测的盘面完成度和盘面磨损。
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产品类型
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钻石研磨盘
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品牌
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trizact™
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基底材质
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不锈钢
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基底样式
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砂碟
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应用
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高级节点（存储和逻辑）, cmp, 晶圆制造
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底座直径 (公制)
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107.95 mm
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研磨矿砂类型
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cvd 涂层陶瓷
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磨料工作面
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b5-m990 pattern, b6-1900 pattern, b75-2990 pattern
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