3m™ trizact™ cmp研磨垫 | 3m 中国-九游会国际

• 凭借三维微复制精确设计的粗糙度和孔隙，有助于确保凹凸点直径和高度、以及孔隙深度一致。
• 创新的凹痕设计，有助于高效均匀的浆液流动分布。
• 微复制受控，有助于确保垫与垫之间性能的一致性，以满足高节点cmp工艺的要求。
• 可满足高节点cmp工艺的要求。
• 减少磨损和侵蚀
• 减少碎片少及缺陷
• 降低金属污染风险

3m™ trizact™ cmp研磨垫采用微复制技术，凭借精确控制粗糙度以实现低缺陷率，使垫子在使用期间内，性能保持一致。

3m™trizact™cmp研磨垫是一种创新的cmp材料，适用于半导体制造中的先进制程。凭借三维微复制精确设计的粗糙度和孔隙，有助于确保凹凸点直径和高度、以及孔隙深度一致。创新的凹痕设计，有助于高效均匀的浆液流动分布。