3m™ 光热转换 lthc 涂层 | 3m 中国-九游会国际

• 应用独特的接合和剥离技术，在极端的晶圆薄化、微影、蚀刻、薄膜沉积、电镀…等制程中，完全的保护晶圆正面的整体性
• 用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离
• 与常用半导体试剂均兼容
• 无残留剥离
• 作为3m™ wss晶圆支撑系统的一部分来使用

3m™ 光热转换lthc涂层为溶剂型、旋涂式油墨涂层。为wss晶圆临时键合和解键合方案专用的玻璃释放涂层。